超聲波清洗機清洗配備的使用領(lǐng)域越來越遍及，各種通過不時和改進的別致超聲波清洗配備正在替代已面市的新式配備。兆赫超聲波清洗技能是指選用頻次700KHz—2MHz的超聲波停止清洗。清洗瑣細一般由壓電換能器擺設(shè)、清洗容器和清洗液、高頻電功率發(fā)生器及把握電路等構(gòu)成，對于某些特定的清洗目標，有時還配有熱氣氛烘干、共用清洗架(籃)及清洗液的過濾循環(huán)瑣細。目前，國外市場上已有商用的兆赫超聲波清洗機。美國Verteq、Imtec、ProSys公司已開宣布這類設(shè)備用于半導(dǎo)體出產(chǎn)線上，在對100—300mm硅片的清洗中，可除掉硅片表面上小到0．15μm的細小顆粒，并且可加快漂洗過程并有效地阻撓粒子在硅片表面上從頭附著。
近10年來，超聲波清洗機正執(zhí)政兩個方面開展。其一是，各種類型的多缸或傳動鏈式或升降式超聲清洗出產(chǎn)線相繼面市；其二是，低頻超聲波清洗機向高頻超聲波清洗機的開展。在美國、日本、歐洲以及亞太市場上，多缸式超聲波清洗機總量已呈明顯上升之勢，高達總量的50％，而多工位半自動、全自動傳動鏈式或升降式超聲波清洗線體設(shè)備也已上升到總量的40％以上。
使用超聲波清洗機能破壞污物與淸洗件表面的吸附，還能引起污物層的疲勞破壞而被剝離，氣體型氣泡的振動對固體表面進行擦洗，污層一旦有縫可鉆，氣泡立即“鉆入”振動使污層脫落，由于空化作用，兩種液體在界面迅速分散而乳化，當固體粒子被油污裹著而粘附在淸洗件表面時，油被乳化，固體粒子自行脫落，超聲在淸洗液中傳播時會產(chǎn)生正負交變的聲壓，形成射流，沖擊清洗件，同時由于非線性效應(yīng)會產(chǎn)生聲流和微聲流，而超聲空化在固體和液體界面會產(chǎn)生高速的微射流，所有這些作用，能夠破壞污物，除去或削弱邊界污層，增加攪拌、擴散作用，加速可溶性污物的溶解，強化化學(xué)淸洗劑的淸洗作用。
